AI导读：

光刻机、光刻胶概念股异动拉升，半导体设备ETF万家(159327)表现抢眼。根据美国半导体行业协会数据，中国半导体销售额持续攀升，A股半导体公司业绩走强。招商证券预计，AI服务器需求爆发将驱动半导体设备市场增长。

2月13日，光刻机、光刻胶概念盘中异动拉升，富创精密飙涨11%，华海诚科涨超4%，芯源微、珂玛科技、拓荆科技等涨超3%。半导体设备ETF万家(159327) 盘中大涨2.31%。