AI导读：

近日，国产光刻机领域传出新消息，芯上微装收购威耀实业，成为其全资股东。此次收购或意味着芯上微装重新回到上海微电子旗下相关资产上市平台的定位。据悉，芯上微装在封装用光刻机等设备领域具有实力。

　　国产光刻机领域又传来新消息。

　　近日，上海威耀实业有限公司（简称“威耀实业”）发生股东信息变更，持股100%的上海微电子装备（集团）股份有限公司（简称“上海微电子”）退出，上海芯上微装科技股份有限公司（简称“芯上微装”）成为威耀实业的新增全资股东，认缴出资额同样为2.285亿元。

　　公开资料显示，威耀实业成立于2003年，是一家从事有色金属冶炼和压延加工业为主的企业，此前其为上海电气控股集团成员。2016年1月，上海微电子成为其股东。

　　官网显示，芯上微装成立于2025年02月08日，是一家专注于高端半导体装备研发、生产和服务的创新型科技企业。公司致力于为“超越摩尔”赛道的芯片制造、芯片先进封装、三代半导体和新型显示等核心领域提供高精度、高性能、高可靠性的设备解决方案。

　　有业内人士表示，芯上微装是从上海微电子分拆出的公司，核心团队来自上海微电子。此番芯上微装收购威耀实业，或许意味着其重新回到“上海微电子旗下相关资产上市平台”的定位。

　　企查查显示，芯上微装注册资本金1.75亿元，拥有股东29位，其中上海张江浩成创业投资有限公司（简称“张江浩成”）持股14.197%，是单一第三大股东。张江浩成是张江高科的全资子公司。

　　芯上微装在封装用光刻机等设备领域，颇具有实力。

　　官网显示，2025年8月8日，公司举办了第500台步进光刻机交付仪式。此次发运的“第500台步进光刻机”将交付给盛合晶微半导体（江阴）有限公司。盛合晶微是全球领先的集成电路晶圆级先进封测企业。

　　2025年11月25日，芯上微装自主研发的首台350nm步进光刻机（AST6200）正式完成出厂调试与验收，启程发往客户现场。

（文章来源：上海证券报）